半導體代工企業間的競爭越演越烈，台積電與三星電子也爭先恐後地加強開發速度，EUV(極紫外線)技術將成為決勝關鍵。

據韓媒《ddaily》報導，三星電子和台積電接連購買10台以上的EUV設備。該設備由荷蘭ASML獨家生產，年產量只有30～40台，每台要價2000億韓元。台積電與三星電子之所以願意投巨額，主要是EUV技術是細微工程的核心。EUV微影技術能將微型的電路圖案轉印到晶圓上，光源波長只有ArF液浸設備制程的14分之1，有效縮小電路大小，電路圖案越小，就能提高電效率，並縮小晶片尺寸。

目前三星電子在EUV制程中占領先地位。過去代工廠紛紛進入7納米時代時，三星電子選擇採用EUV制程，並於上個月搶先業界量產EUV制程的7納米產品。台積電則以現有技術搶佔7納米市場，在訂單競爭中佔據優勢，在2016年從三星手中搶下高通的訂單合作至今。但細微工程仍是未來趨勢，台積電預計在5納米制程引入EUV技術。

部分分析指出，三星電子將在EUV時代重掌主導權。NH投資證券都賢宇(音譯)指出，三星電子很快地引進EUV技術，提前準備的效果將在5納米制程發酵，並追擊台積電。但台積電在代工領域擁有壓倒性的優勢，市場公司Trendforce資料指出，台積電在今年第一季的代工市場市占率為48.1%，接近一半。

《ddaily》分析，三星電子要追上臺積電的路還很長。業界相關人士預測，三星電子很難在短時間內追上臺積電，之前三星電子預告會大舉投資在系統半導體上，加上已經搶先掌握EUV技術，往該方面追擊的可能性很大。