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依賴日制氟化氫時代結束?三星電子成功將替代品投入制程
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自日本將韓國剔除白色名單後,韓國企業陸續採取應對措施,三星電子開始撤換部分日本氟化氫產品,並成功將替代品投入部分制程。
據韓媒《國民日報》報導,三星電子部分半導體制程中,已將日制氟化氫的替代品投入部分制程中。三星電子引進大陸、臺灣的原料,並製成半導體制程用材料,上個月中旬開始投入部分制程。多位元業界人士透露,三星電子依照測試完成產品順序,量產後投入制程。
日本自7月加強對韓出口限制,氟化氫、氟化聚醯亞胺、光刻膠皆被列入出口管制類別,導致三星電子未來引進Stella Chemifa、森田化學等日本企業的產品恐受阻,因此三星電子攜手韓國企業SoulBrain、ENF TECHNOLOGY,合力製造替代品。
過去這兩家企業主要從日本Stella Chemifa、森田化學進口氟化氫,提煉蝕刻液體後,再交予三星電子,因此擁有一定的技術能力。
另一方面,SK海力士也正在加快腳步。《國民日報》指出,SK海力士取得相當數量的替代材料。過去提供SK海力士氟化氫的韓國企業RAM TECHNOLOGY透露,已提供SK海力士數百噸的原料。
外界預期,月底韓國製造完一批氟化氫,能夠替代日制產品,未來SoulBrain工廠擴建完工後,將能提供更多氟化氫給三星電子、SK海力士。SoulBrain過去主要精煉Stella Chemifa的氟化氫,同時也引進中國原料開發相關技術,因此擁有製造高濃度氟化氫的技術,產量與品質也已獲得認可。

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