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工研院SuperSizer正式技轉致茂旗下的兆晟奈米科技
CTimes籃貫銘
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工研院今日宣布,將「新世代溶液奈米粒子監測系統-SuperSizer」技術移轉給今年8月成立的新創公司-兆晟奈米科技,共同與半導體自動檢測廠致茂電子攜手打造半導體前段高階製程。

工研院與新創公司兆晟奈米科技,今天舉行「SuperSizer」技轉簽約儀式。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。
工研院與新創公司兆晟奈米科技,今天舉行「SuperSizer」技轉簽約儀式。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。

 

兆晟奈米科技公司是由致茂電子轉投資的新創公司,目前已進駐新竹科學園區。兆晟董事長黃欽明表示,兆晟的「新世代溶液奈米粒子監測系統」是非常創新的技術,與致茂電子共同切入半導體前段製程檢測,並已獲准進入新竹科學園區,資本額將從二千萬元增至二億元。目前半導體製程已推進至七奈米、三奈米,而良率更是先進製程的主戰場,如果可以有效監管、檢測雜散的奈米粒子、並加以控制,對半導體製程良率提升將有很大的貢獻。

 

此次技轉的SuperSizer技術是由工研院所研發,不僅可以連續24小時線上監測研磨液、雙氧水及超純水等化學溶液中粒子的大小與濃度,可量測的粒子範圍囊括5-1,000奈米,遠優於業界約20奈米的監測水準。此外,根據以此估算,若半導體製程可減少20奈米以下的微粒汙染,每提升0.1%良率,預估可增加淨利600萬美元。

 

工研院院長劉仲明表示,今天的簽約除了展現工研院的前瞻檢測技術的優勢,也是彰顯工研院落實產業化之創新育成實績,工研院最近才從全球百大科技研發獎中抱回九項大獎,這些得獎的技術除了給予團隊高度的肯定外,最重要的是要落實產業化的研發成果。工研院最重要的指標是帶動產業發展,今天移轉的SuperSizer檢測技術亦曾在2015年入圍R&D 100 Awards,給技術團隊很大的鼓舞。

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