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中國大陸半導體設備標竿廠商分析
ITIS智網陳致融
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一、北京七星華創發展現況

北京七星華創電子股份有限公司成立於2001年,是一家以半導體製造技術為核心,並以半導體製造設備、混合積體電路和電子元件為主要業務。七星電子是唯一在A 股上市的集成電路製造設備生產商,其生產設備如【表1】所示。七星電子通過中國大陸國家02 專項,主攻12吋製程技術的氧化爐、低壓化學氣相沉積、清洗機和氣體流量計四項設備的研發生產。七星電子的12吋立式氧化爐,技術發展至90~28nm,已通過生產線驗證並進入產業化階段,目前已銷售10台(包括2台中芯國際B228nm氧化爐)。

七星電子是中國大陸立式爐和晶圓清洗機龍頭企業,客戶包括中芯國際、武漢新芯、長電科技等半導體大廠。該公司有兩款立式爐及兩套系統,分別為立式退火爐、立式氧化爐及低溫合金系統和立式低壓化學氣相沉積系統,立式爐將可應用於0.35um-28nm積體電路製造、封裝、MEMS、功率器件等。

七星電子銷售收入在集成電路製造設備占大部分比重,達36.48%,電子元件占47.28%,混合集成電路占8.52%,其它占7.72%。目前設備類業務收入主要來自於半導體集成電路、鋰電池設備、TFT、真空電子設備等行業。七星電子設備進入中芯國際和武漢新芯的採購鏈中,目前已有設備供應給中芯國際、武漢新芯等客戶。

七星電子作為中國大陸半導體集成電路製造設備的領先企業,始終站在電子訊息技術的前端,在持續自主研發高階設備技術的基礎上,也充分利用中國大陸政府及地方對集成電路設備產業的扶持及優惠政策,爭取政府補貼,減輕企業研發成本。2015年七星電子設備相關項目完成情況如下:

Ø   完成「300mm 90/65nm立式氧化爐/質量流量控制器研發及產業化項目」驗收工作,並實現7台銷售。

Ø   完成「65-45nm銅互連清洗機設備產業化項目」65nm設備驗證及28nm設備工作;「45-32nm LPCVD設備產業化項目」繼續在中芯國際32-28nm生產線進行設備驗證,完成了MSTR驗證。

Ø   完成「28-14nm原子層沉積系統(ALD)產品研發及產業化項目」的審批。該產品是半導體高世代成膜關鍵設備。

七星電子半導體設備技術能力將從現有的65nm-45nm-28nm提升到28nm-14nm,既符合半導體技術進步要求,又能滿足市場需要,進而擴大產品種類範圍,提升七星電子產品核心競爭力。2016年七星電子將持續研發高階集成電路設備,預期目標如下:

Ø   300mm 90/65nm立式氧化爐/質量流量控制器研發及產品已實現銷售的基礎上,拓展市場,擴大銷售規模。

Ø   65-45nm銅互連清洗機設備-完成28nm清洗機設備功能測試,進入中芯國際進行設備驗證。

Ø   完成45-32nm LPCVD設備驗證,2016年底前具備專項驗收條件。

Ø   完成28-14nm原子層沉積系統(ALD)產品研發及設備的組裝工作。

二、北方微電子發展現況

北方微電子公司成立於2001年,是一家中國大陸本土領先的高階半導體設備製造公司,所開發的蝕刻設備、化學氣相沉積設備(CVD)、物理氣相沉積設備(PVD)等核心產品已廣泛應用於積體電路、半導體照明、微機電系統、功率半導體、先進封裝、光通信及化合物半導體等尖端領域。

北方微電子開發12吋蝕刻機、物理氣相沉積設備,已達到14奈米技術。此外,重點研發出適用40nm14nm技術的金屬薄膜沉積設備,已順利通過中芯國際產品驗證並成為28奈米生產線國產首台Baseline設備。另外,金屬薄膜沉積設備已形成對積體電路、先進封裝、LED照明等領域安裝應用超過120台,獲得中芯國際、上海華力及武漢新芯等大廠廣泛認可和信任。北方微電子在LEDMEMS領域蝕刻機市場,以及先進封測領域的PVD市場,在中國大陸占有率已超過50%

三、成立北京北方華創微電子裝備有限公司

2015 12 26 日,七星電子宣布收購北方微電子。北方微電子成立於2001 年,致力於發展蝕刻設備、物理氣相沉積設備和化學氣相沉積設備的領先企業。已經量產6-8 英吋矽蝕刻機、介質蝕刻機、金屬蝕刻機、金屬PVD 和常壓CVD產品。北方微電子是中國大陸少數能夠為客戶提供前段矽蝕刻機和PVD 的供應商,其產品與國外競爭者非常接近,已實現部分市場替代。產品已經進入中芯國際、上海華力、武漢新芯等製造廠及長電科技、華天科技、晶方科技等封測廠,並建立了穩固的合作關係。

由於七星電子主要的產品為清洗機、擴散/氧化爐和氣體質量流量計等。北方微電子主要產品為蝕刻機、物理氣相沉積和化學氣相沉積等。此次收購,七星電子將能互補集成電路設備業務。北方微電子能夠獲得七星電子強大的資金支持,降低補貼依賴度,提升研發投入,雙方能夠整合技術資源與資本優勢,具有良好的協同效應。

四、結論

中國大陸全力扶持半導體產業,致使半導體設備業逐年成長及設備國產化提升,但要與國際知名半導體設備大廠同台競爭的實力,還尚有一大差距。另外,也受制於技術研發難度和國際大廠專利訴訟的可能,因此中國大陸設立大基金協助中國大陸本土廠商海外併購,以提升技術能量,如北京亦莊國際投資發展有限公司收購美國Mattson。除了海外併購外,中國大陸半導體設備廠商間的聯合也是提升競爭力的一種有效手段,如同七星電子收購北方微電子,中微半導體入股瀋陽拓荊等,說明中國大陸半導體設備廠商也開始走向整合之路。

(本文作者為金屬中心執行產業技術前瞻研究與知識服務計畫產業分析師)

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